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汽車內(nèi)外飾雙軸鍍膜設(shè)備配置以GVAC自主開(kāi)發(fā)的孿生旋轉(zhuǎn)靶等多種形式的中頻磁控濺射靶的結(jié)構(gòu)和布局,克服陽(yáng)極消失和靶面打火現(xiàn)象,采用雙軸公轉(zhuǎn)方式傳動(dòng),達(dá)到對(duì)汽車零部件表面的均勻穩(wěn)定鍍膜,使塑料基材表面金屬化、色彩化和實(shí)現(xiàn)特定功能。
在現(xiàn)代材料科學(xué)與表面工程技術(shù)領(lǐng)域,磁控-多弧復(fù)合鍍膜設(shè)備以其高效、多功能及優(yōu)異的鍍膜質(zhì)量,成為眾多工業(yè)應(yīng)用中的明星設(shè)備。本文將詳細(xì)介紹磁控-多弧復(fù)合鍍膜設(shè)備的工作原理、技術(shù)特點(diǎn)、應(yīng)用領(lǐng)域以及發(fā)展趨勢(shì),以期為相關(guān)領(lǐng)域的科研人員與工程師提供參考。
在高科技迅猛發(fā)展的今天,半導(dǎo)體材料作為信息技術(shù)的基石,其制造過(guò)程中的每一步都至關(guān)重要。其中,鍍膜技術(shù)作為提升半導(dǎo)體器件性能的關(guān)鍵環(huán)節(jié),更是備受矚目。立式半導(dǎo)體磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線,作為一種高效、精準(zhǔn)的鍍膜設(shè)備,正逐步成為半導(dǎo)體制造業(yè)的主流選擇。
汽車內(nèi)外飾雙軸鍍膜設(shè)備配置以GVAC自主開(kāi)發(fā)的孿生旋轉(zhuǎn)靶等多種形式的中頻磁控濺射靶的結(jié)構(gòu)和布局,克服陽(yáng)極消失和靶面打火現(xiàn)象,采用雙軸公轉(zhuǎn)方式傳動(dòng),達(dá)到對(duì)汽車零部件表面的均勻穩(wěn)定鍍膜,使塑料基材表面金屬化、色彩化和實(shí)現(xiàn)特定功能。
磁控濺射光學(xué)鍍膜設(shè)備配置以GVAC自主開(kāi)發(fā)的孿生旋轉(zhuǎn)靶結(jié)構(gòu)和布局,克服陽(yáng)極消失和靶面打火現(xiàn)象,采用公自轉(zhuǎn)方式傳動(dòng),在手機(jī)、平板、車載顯示等3C產(chǎn)品的蓋板、中框、后蓋上鍍制減反、增硬、顏色膜層等光學(xué)膜層。
低輻射鍍膜玻璃(又稱Low-E玻璃),是在玻璃表面鍍上多層金屬或其他化合物組成的膜系產(chǎn)品。該產(chǎn)品對(duì)可見(jiàn)光有較高的透射率,對(duì)紅外線(尤其是中遠(yuǎn)紅外)有很高的反射率,具有良好的隔熱性能。在任何氣候環(huán)境下使用,均能達(dá)到控制陽(yáng)光、節(jié)約能源、熱量控制調(diào)節(jié)及改善環(huán)境的作用,適應(yīng)了現(xiàn)在全國(guó)推行使用節(jié)能建筑的形勢(shì),產(chǎn)品的發(fā)展前景十分看好。 根據(jù)不同型號(hào)可分為單銀Low-E、單銀可鋼化Low-E,雙銀Low-E玻璃和三銀玻璃,按產(chǎn)品透光率可分為高透型和遮陽(yáng)型Low-E玻璃。
熱反射玻璃又稱陽(yáng)光控制鍍膜玻璃,是一種對(duì)太陽(yáng)光具有反射作用的鍍膜玻璃,采用磁控濺射鍍膜在優(yōu)質(zhì)浮法玻璃的表面鍍一層或多層金屬或金屬氧化物薄膜而成的,其膜色使玻璃呈現(xiàn)豐富的色彩,有金色、茶色、灰色、紫色、褐色、青銅色和淺藍(lán)色等各色。
采用新型的磁控濺射工藝制作家用鏡,裝飾鏡或者工業(yè)反射鏡,可以避免之前使用的化學(xué)制鏡方法在生產(chǎn)過(guò)程中所產(chǎn)生的重金屬污染,生產(chǎn)過(guò)程清潔環(huán)保無(wú)污染。
金石東方開(kāi)發(fā)的專用設(shè)備可應(yīng)用在半導(dǎo)體基材上面沉積金屬層或者化合物層的連續(xù)鍍膜設(shè)備等。主要用于大面積,高潔凈度的玻璃等表面磁控濺射高質(zhì)量、多功能的金屬膜、防干擾電磁屏蔽膜(EMI)、反應(yīng)膜、復(fù)合膜、透明導(dǎo)電膜(ITO)、減反射膜(AR)、增反射膜等。